產(chǎn)品參數(shù)：

※ 備注

1：水平放置下的中心垂直負載。

2：最小運動增量不等同于分辨率，最小運動增量是指運動系統(tǒng)在連續(xù)、穩(wěn)定情況下能夠移動的最小量。一般來說，系統(tǒng)分辨率遠小于最小運動增量?？紤]傳動結(jié)構(gòu)和編碼器對系統(tǒng)誤差的影響，直線電機位移臺與步進電機位移臺相比，其最小運動增量更加接近于分辨率。

3：精度測量數(shù)據(jù)是平臺在水平放置的情況下使用激光干涉儀測量的數(shù)據(jù)。

4：典型值和保證值的區(qū)別見技術(shù)指南。

5：最大速度為典型值，根據(jù)負載和控制器的不同會有區(qū)別。

產(chǎn)品詳情：

高精度、結(jié)構(gòu)緊湊、集成靈活

直線電機垂直升降臺，專為需要高精度垂直定位的實驗室和工業(yè)應(yīng)用而設(shè)計。升降臺采用直線電機驅(qū)動，具備高精度、高穩(wěn)定性、低噪音等特點，結(jié)構(gòu)緊湊，易于集成，提供多種行程和配置選擇，滿足多樣化的應(yīng)用需求。

主要特點:

多種行程可選，滿足更多應(yīng)用需求： 提供 50mm 和 100mm 兩種行程選擇，結(jié)構(gòu)緊湊，可靈活集成于各種空間受限的應(yīng)用場景。

精密結(jié)構(gòu)，穩(wěn)定可靠： 采用集成式一體化交叉滾柱導(dǎo)軌和高品質(zhì)直線電機，結(jié)合標準化安裝工藝，確保好的運動精度和長期穩(wěn)定的可靠性，Pitch 和 Yaw 精度表現(xiàn)優(yōu)異。

高分辨率，精細控制： 升降臺采用直線電機驅(qū)動，擁有好的微步能力，配合菲克科技高性能控制器，可實現(xiàn)微米級的精細定位，滿足對精度的追求。

兩種配重方案，適應(yīng)不同應(yīng)用環(huán)境： 可選配恒力彈簧或氣缸配重，滿足不同負載和速度需求，保證運動平穩(wěn)、一致性高。

靜音運行，打造舒適環(huán)境: 靜音位移臺，適用于對噪音敏感的實驗室環(huán)境和高性能工業(yè)場所。

強大軟件支持，輕松操控: 免費標準版 SDK，支持 Window、Linux 環(huán)境下多種開發(fā)語言 (C/C++、C#、Matlab、LabVIEW 等)，方便用戶進行二次開發(fā)和系統(tǒng)集成。

高性能控制器，實現(xiàn)復(fù)雜運動: 控制器支持圓弧插補、直線插補、位置記憶和任意圖形導(dǎo)入，可滿足各種復(fù)雜運動控制需求。(選配）

靈活通訊，無縫連接: 可選配 EtherCAT 總線控制，實現(xiàn)高速、穩(wěn)定的數(shù)據(jù)傳輸。

產(chǎn)品應(yīng)用：

精密Z軸 Precision Z-axis、儀器設(shè)備 High-end Equipment、半導(dǎo)體檢測 Semiconductor Inspection、半導(dǎo)體切割 Semiconductor Cutting

性能實測：

產(chǎn)品尺寸：